1、噴嘴：
高壓微霧加濕器在長期工作後噴嘴中可能形成水垢，影響微霧效果，須予以清除。可關閉分支導管的開關閥（在關閉分支導管開關閥時，須注意係統壓力值，防止壓力急劇上升，危害整個係統），用後備噴嘴換下堵塞的噴嘴，將其泡在噴嘴清洗劑（檸檬酸）中24小時，再清洗吹幹（壓縮空氣）後作備用。不可用針或尖銳硬棒等物進行挑剔。
2、主機：定時清洗
高壓微霧加濕器主機水箱，及時排除沉積雜質異物。
3、水過濾器：每隔10天左右清洗水過濾器，清洗內芯；清潔周期根據水質和環境而定。
4、水泵：水泵聯軸器墊片和液位傳感器為易損件，應定期檢查，發現問題（如出現墊片磨損、液位傳感器不動作等）應及時更換。
5、
高壓微霧加濕器高壓水泵在使用50小時後潤滑油應該全部更換(2次)，2次之後每隔150小時更換一次。（使用前應檢查機油是否變質）更換機油時，先旋開泄油螺絲排盡舊機油，然後將泄油螺絲擰緊，打開加油蓋注入SAE20W-50清潔機油。油麵應保持在油箱三分之二的位置。