近年來，無塵車間為(wei) 了保證一定的環境濕度，在規定範圍中保持處理空氣過程，使我們(men) 必需承擔資金和運營成本。但是為(wei) 什麽(me) 值得花費這麽(me) 多錢用在無塵車間、潔淨室中控製相對濕度呢？道理很簡單！因為(wei) 相對濕度有一係列可能使潔淨室總體(ti) 表現下降的因素，其中包括：

1、細菌生長；細菌和其他生物汙染(黴菌，病毒，真菌，蟎蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處於(yu) 40%至60%的範圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。

2、工作人員感到室溫舒適的範圍；相對濕度在40%至60%的範圍同樣也是人類感覺舒適的適度範圍。濕度過高會(hui) 使人覺得氣悶，而濕度低於(yu) 30%則會(hui) 讓人感覺幹燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

3、出現靜電荷；高濕度實際上減小了無塵車間、潔淨室表麵的靜電荷積累──這是大家希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累並成為(wei) 潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小於(yu) 30%時，它們(men) 可以在絕緣體(ti) 或者未接地的表麵上持續存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為(wei) 一個(ge) 令人滿意的折中，半導體(ti) 無塵車間、潔淨室一般都使用額外的控製裝置以限製靜電荷的積累。

4、金屬腐蝕；很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔淨室周圍空氣中的表麵都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表麵是由可以與(yu) 水反應的薄金屬塗層組成時，高濕度可以使反應加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與(yu) 水形成一層保護型的氧化物，並阻止進一步的氧化反應；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護能力的，因此，在高濕度的環境中，銅製表麵更容易受到腐蝕。

5、水汽冷凝；在相對濕度較高的環境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和表麵之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與(yu) 矽質表麵的黏附力。這種效應——凱爾文濃縮——當相對濕度小於(yu) 50%時並不重要，但當相對濕度在70%左右時，就成為(wei) 顆粒之間黏附的主要力量。

6、光刻的退化；到目前為(wei) 止，在半導體(ti) 無塵車間、潔淨室中最迫切需要適當控製的是光刻膠的敏感性。由於(yu) 光刻膠對相對濕度極為(wei) 敏感的特性，它對相對濕度的控製範圍的要求是最嚴(yan) 格的水準。

幹燥的季節，在無塵車間內(nei) ，靜電和粉塵的危害是直接造成無塵車間工業(ye) 產(chan) 品出現各種不良後果。現在通過使用工業(ye) 加濕機將空氣濕度提升，即保證了產(chan) 品的出廠品質，人們(men) 感覺舒適，靜電也消失了、因此，潔淨加濕成為(wei) 無塵車間環境控製的必然要求。

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